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瑞士福克林 气体质量流量控制器
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价格:¥电议
更新日期:2023/8/9 10:46:39
生 产 地:中国大陆
产品型号:MFM 2150
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详细内容
紧凑的质量流量计配有RS-485全双工通讯接口,基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势
·紧凑的外形尺寸
·快速的稳定时间
·极佳的重复性和精度
·坚固的设计
·高量程比
·极佳的长期稳定性
它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
| 目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| 流量精度0-10% | % F.S | 0.2(250sccm,N2,4bara) |
| 流量精度10-100% | % O.R | 1(250sccm,N2,4bara) |
| 传感器响应时间 | ms | < 4 |
| 供电电压 | V | 24 |
| 数字量输入输出 | RS-485 全双工 | |


