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气浮运动台晶圆测量方案
点击次数：261 发布时间：2020/1/8 20:16:44
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刘**
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晶圆测量
晶圆测量系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求，气浮运动台成为理想的选择。
根据本行业应用，北京瑞邦精控研发出QFHDS双轴H形超精密气浮运动台，同时满足许多高精度应用，如半导体加工，光子学，精密扫描，以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备，经过大量的测试，可确保达到的精度和稳定性性能。
指标规格
晶圆测量系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求，气浮运动台成为理想的选择。
根据本行业应用，北京瑞邦精控研发出QFHDS双轴H形超精密气浮运动台，同时满足许多高精度应用，如半导体加工，光子学，精密扫描，以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备，经过大量的测试，可确保达到的精度和稳定性性能。
指标规格
| 型 号 | QFHDS-400-400 | QFHDS-500-500 | QFHDS-600-600 | |||
| 运动轴 | X(扫描) | Y(步进) | X(扫描) | Y(步进) | X(扫描) | Y(步进) |
| 行程（mm） | 400 | 400 | 500 | 500 | 600 | 600 |
| 定位精度（μm） | ±0.15 | ±0.2 | ||||
| 重复定位精度 (nm) | ±75 | ±100 | ||||
| 分辨率（nm） | 0.3 | |||||
| 速度（m/s） | 1 | |||||
| 加速度（g） | 4 | |||||
| 直线度（μm） | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | |||
| 定位稳定性（nm） | ±5 | |||||
| 负载（Kg） | 20 | |||||
| Pitch（arc-sec） | ±1 | |||||
| Roll（arc-sec） | ±1 | |||||
| Yaw（arc-sec） | ±1 | |||||
原创作者：北京瑞邦精控科技有限公司
