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气浮运动台介绍三

点击次数:138 发布时间:2023/1/7 15:34:44
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气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用,可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通常与直线电机,编码器反馈,控制驱动器组成闭环系统,实现高精度位移定位。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。

精密运动台常用导轨有机械滚动导轨、静压导轨等,机械导轨的应用己经有好多年,机械导轨的运动精度达到微米,气浮导轨摩擦因数可以降低到0.002至0.003。机械导轨的优点是滚动摩擦阻力小,没有滑动导轨的爬行、浮动现象,但机械滚动导轨的摩擦大、抗震性差、运动不平稳、寿命低,在应用方面有所欠缺。

气浮运动台的精度指标:
直线台:定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw,见下图。
直线度:运动台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差;
平面度:(又称垂直于直线度)运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差;
Pitch:围绕X方向的角度误差;
Roll:围绕Y轴方向的角度误差;
Yaw:围绕Z方向的角度误差。


转台:定位精度、重复定位精度、轴向跳动、径向跳动及倾角误差,见下图。
轴向跳动:转台的旋转轴同轴向发生的误差;
径向跳动:转台在轴向位置垂直于旋转台旋转轴发生的误差;
倾角误差:相对于转台旋转轴在角度方向上的误差。



原创作者:北京瑞邦精控科技有限公司

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