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扫描电子显微镜 AeroSurf 15

扫描电子显微镜 AeroSurf 15

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更新日期:2025/11/24 10:02:49

生 产 地:

产品型号:AeroSurf 15

简单介绍:特色含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察从低真空到大气压(数 Pa~105 Pa),可在大范围压力下进行SEM观察标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能在

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详细内容

特色

  • 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察

  • 从低真空到大气压(数 Pa~105 Pa),可在大范围压力下进行SEM观察

  • 标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能

  • 在真空模式下,除了通常的SEM观察之外,还可进行EDX分析(选配)

  • 主机采用330 mm宽度的小型设计,实现节省空间和高便利性

  • 无需等待抽真空时间,快速实现从搭载样品到观察图像的全过程

  • 概要

大气压观察(图1)

  • 样品设置在标准大气压环境下(105 Pa)

  • 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离,在保持SEM内部真空的同时,可对样品进行电子束照射观察

  • 而且,可通过附带的真空泵在负压下(约103~105 Pa)进行观察

低真空观察(图2)

  • 隔膜可拆卸,还可进行低真空SEM观察和EDX分析

  • 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器


图1:大气压或负压观察时

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