视觉应用-硅片外观缺陷检测系统及硅片分选系统

光伏行业近年来越来越重视硅片等产品的质量检测，以往常见的硅片会出现尺寸不合格、崩边、隐裂等问题

2、基于visionbank智能视觉系统的硅片在线检测技术

目解决硅片检测的重要方法是依托机器视觉技术进行解决，通过在线视觉检测技术实现对人工检测的替换，提升检测的准确性和减少人力成本。

目在线检测硅片处于运动状态，般速度在160mm/r 以上，随着机器视觉软硬件技术的发展，速度会更快。该基于visionbank智能视觉系统的硅片在线检测技术，主要视觉组成部件包含MV-EM工业相机、BT-MP5工业镜头、VisionBank智能视觉软件、svc600智能视觉控制器等；硅片在检测时会被传送到相机视野里，通过触发实现硅片图片采集。

2.1硅片在线检测工艺流程

2.2硅片在线视觉检测系统配置

硅片在线视觉检测系统的基本原理是:触发相机拍照→(CCD/CMOS工业相机)采集图像→嵌入式VisionBank svc600智能视觉系统软件进行识別判断处理并反馈给PLC进行相应的处理。为提高检测效果，降低软件的处理难度，要有背光源作为辅助。

2.3检测效果

通过不断优化模板设置，进行大批量的测试，检测系统可检出非常微小的破损，如崩边、崩角、隐裂、穿孔等等。这些硅片的提剔除为提升后道工序的品质、减少后续工艺浪费有重要意义。且检出>99．9%，误检率＜0．01%，响应时间0．1s，得到了客户的认可。

维视智造通过硬软件上的不断测试，依托VisionBank人工智能视觉系统的成熟功能模块，实现了硅片视觉检测应用。在批量生产的110台装片机上得到了检验，通过硅片视觉检测检测，使得硅片生产加工成品的品质得到了很大的提升。

原创作者：陕西维视智造科技股份有限公司