CMF8000系列气体质量流量计氧气流量计空气流量计

CMF8000系列便携式质量流量表用于对气体的质量流量进行精密测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。DAT-0054, rev 0.1©2022.Consensic, Inc. All rights reserved. The inｆormation contained in this document is subject to changes without notice.CMF8000 seriesMEMS便携式气体质量流量计•灵敏度高，有极小的始动流量；•在单个芯片上实现了多传感器集成，量程比达到了 50：1 甚至更高：•传感器具有较高的耐冲击能力，且具有较好的耐冷凝水能力；•传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量；•实时显示瞬时流量和计算累计流量•零点稳定度高;•电池供电，便携设计•多种输出方式，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟量信号;••全量程测量高稳定性、高精确度和优良的重复性：•连接方式为螺纹，易于安装与使用；■工业■ 医疗■ 石油■ 仪器仪表■ 实验室■ 燃气■ 化工■ 冶炼■ 食品加工■ 机电设备DAT-0054, rev 0.1©2022.Consensic, Inc. All rights reserved. The inｆormation contained in this document is subject to changes without notice.DAT-0054, rev 0.1©2022.Consensic, Inc. All rights reserved. The inｆormation contained in this document is subject to changes without notice