6探针气体环境密封真空探针台

6探针气体环境密封真空探针台 探针台 高温探针测试台 变温探针台真空高低温光电器件测试探针台

1、6探针气体环境密封真空探针台 测试腔、控温及加热系统

测试夹具要求：可实现XYZ移动；

测试腔：同时满足静态/动态测试，304不锈钢材质，可在紫外灯下保证气密性测试；

测试样品数：同时测试8个样品，可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试；

测量温度：室温---300 ℃

控温精度：±1 ℃

显示精度：±0.1 ℃

测温传感器：PT100

2、气体配比器

流量计数量：5个，（根据客户需求标定 气体 量程 进气口和出气口）

流量规格：500 ml/min

精准度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重复精度：±0.2% F.S

响应时间：≤1 s

密封形式：金属密封

接头尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通讯接口：RS485

4、样品12*10mm，探针可移动范围x-y 1-10mm，z轴3-5mm

5、每个样品上方一个紫外灯，四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换，样品上方2cm。

6、加热板上有个镀金衬底，用来连接栅极。

升温斜率：1-10 ℃/min

通讯类型：RS485

加热功率：500 W

测试腔容积<2 L

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