微型高低温真空探针台

微型高低温真空探针台 加装真空位移拉伸夹具 实现对柔性传感材料在不同温度 湿度 气体浓度 压力和位移条件下的电学信号测试 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移过程可采集样品信号 热台温度范围 高温60℃低温-60℃ 机械泵极限真空小于1Pa

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