配套了高精度PID温度控制器，用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况，确保温度测试的可靠性。同时，200W 大功率直流输出，可让样品台快速从-196℃上升至400℃，极大地提供了温控效率，为用户节省大量宝贵的实验时间。由于系统中温控部件均为直流配置，也大大地减少了加热部件的干扰，提供了系统的漏电精度。

高性能、宽温度范围的高低温探针台系统

除了高性价比入门级配置，郑州科探仪器设备有限公司还为用户研发了高性价比配置的真空高低温探针台系统。温度控制系统，为用户提供精准、稳定且高效的温度控制。

真空高低温探针台系统，使用国际上先进的温度控制系统和传感器，温度范围为77.15K至673.15K（-196摄氏度到400摄氏度），温度稳定性可达0.1K。

多种真空度可选的高低温探针台系统

高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10^-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。

为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，一定程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。

可选多种样品台配置

普通的样品夹具。们也提供同轴或三同轴配置的样品夹具，用于超低漏电测试应用中。纯银探针台，导热性更好，不易氧化，增强样品的导电性能。

小型真空探针台郑州科探KT-Z4019MRL4T参数

真空腔体
类型	高温型室温到350℃	高低温型室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质	304不锈钢 6061铝合金可选
腔体内尺寸	127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔体重量	不锈钢材质约1.5KG 铝合金材质约0.5KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	6mm快拧或 6mm快插
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	不锈钢银铜合金纯银块	银铜合金纯银块
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热	电阻加热液氮制冷
样品台-视窗距离	11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器	PT100型热电阻
样品台温度	室温到400℃	室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差	±0.5℃
样品台升温速率	高温100℃/min 最大值低温7℃/min
温控仪
温度显示	7寸人机界面
温控类型	标准PID温控 +自整定
温度分辨率	0.1℃
温控精度	±0.5℃
温度信号输入类型	PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出	直流线性电源加热	直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能	温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线可扩展真空读数接口
温控器尺寸	32cmX170cmX380cm
温控器重量	约5.6KG
探针
电信号接头	配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头香蕉插头线长1.2米
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量	4探针（可扩展5探针）
探针材质	镀金钨针（其他材质可选）
探针尖	10µm
手动探针移动平台
X轴移动行程	20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度	≥500µm
R轴移动行程	120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度	≥500µm
Z轴移动行程	2mm ±1mm
Z轴控制精度	≤50µm（需手动螺纹调节探针杆）

KT-Z4019MRL4T,,小型真空探针台郑州

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