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技术文章
净化工作台振动测试
点击次数：2968 发布时间：2013/6/4 16:15:16
商家名片
刘**
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振动
按3.6进行测试，操作台三个轴向（x.y.Z）振幅均不得超过5μm。如有特殊要求，用户与厂家另行商订。
3.6.1仪器
应是具有2～500Hz的振动频率，位移为。0.1μm～0.5mm,加速度为0.01g～10g的振动分析计。
仪器校准应按照说明书的要求进行。
3.6.2测试方法
3.6-2.1当洁净工作台在正常运行条件下，将振动分析计的拾振器置于操作面的儿何中心处。测出想、X,Y,Z一个轴向的总振幅值。
3.6-2.2被测试的洁净工作台应放置在振动比较小的地面上进行。在测试过程中应避免周围环境的影响。
3.6-2.3三个轴向的振幅值均应不得超过5μm
原创作者：苏州长留净化科技有限公司
