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技术文章
超净工作台_净化工作台洁净度测试
点击次数：3136 发布时间：2013/6/4 16:11:58
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刘**
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洁净度操作区洁净度
其洁净度）0.5um粒子必须≤53. 5粒／L，不准许有）≥ 0.5μm粒子。
一、仪器尘埃
粒子计数器
二、测试方法
1、进行洁净度测试时，吸风口处的气溶胶浓度（对于≥ 0.5μm粒子）不得小于35 000粒／L。
当吸风口处不能满足上述指标时，宜在洁净工作台吸风口处发多分散DOP气溶胶。
2、当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格栅出口250 mm的平行断面的中心处（垂直层流洁净工作台距操作台面250 mm的中心处）连续测试5次，求其平均值。
3、操作区气溶胶浓度测试尽量采用大流量（47.2×10-5m3/s [28. 3 L/min]）尘埃粒子计数器，也可采用小流量尘埃粒子计数器，但采样量不得小于1L。
4洁净工作台吸风口处的气溶胶浓度测试，需要在测试洁净工作台操作区气溶胶浓度的时间内进行，要测5次以上。
5、当测试时有≥ 0.5μm粒子出现时，应进行多次采样，当其多次出现时，才认为该测试数值是可靠的。
三、可比工作环境条件下的操作区气溶胶浓度计算：
C=（C2/C1）*Cn－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－-（1）
式中：
C—操作区对比气溶胶浓度（≥ 0.5μm）,（粒/L）
C1—洁净工作台吸风口处≥ 0.5μm的气溶胶浓度平均值，粒/L;
C2—洁净工作台操作区要≥ 0.5μm的气溶胶浓度平均值，粒/L；
Cn—可比工作环境中的）≥ 0.5μm的气溶胶浓度，取值为35000粒／L,
四、使用条件下操作区的洁净度
洁净工作台在使用条件下，不论其使用环境中的含尘浓度是多少，要按有关规定进行测试，并按操作区气溶胶的实测浓度来评价操作区的洁净度。
原创作者：苏州长留净化科技有限公司
