德国Freiberg Instruments 的弗莱贝格Omega/Theta XRD（X射线单晶定向仪-XRD晶体衍射仪）主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，该仪器采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，具有成熟的单晶X射线衍射仪（XRD）技术，且可集成至全自动生产线中，是一台可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

?工作原理

Omega/Theta XRD可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3（蓝宝石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体；
可对整块晶体取向mapping（弗莱贝格*）进行测量；
可测直径大可达590mm（可根据需求定制更大检测尺寸）；
检测精度高达0.003° ，检测速度快——5s/试样；
可测摇摆曲线检测晶体质量；
制样简便，且可集成至全自动化生产线中，快速晶体质量检测分拣（日处理量高达5000片）。

?用户群体

德国Freiberg Instruments（弗莱贝格仪器）公司Omega/Theta X射线衍射仪系列（包括Omega/Theta XRD（X射线单晶定向仪-XRD晶体衍射仪））在国内已有200多家客户，如蓝思科技、四联集团、协鑫集团、广东惠伦晶体、中电五十四所时频事业部等。

而该仪器在欧美国家等国家晶体生产研发*企业中同样应用广泛，如美国IPG Photonics公司、美国II-VI Advanced Materials公司、美国Crystal IS 公司、德国Si Crystal公司、波兰热舒夫理工大学。德国博世(Bosch)公司借助于此设备的Omega扫描技术，其石英振荡器晶体产量从55%直接提升至95%。

?应用实例

单晶涡轮叶片检测图：

α方向：