布鲁克Bruker原子力显微镜探针AFM探针轻敲模式OLTESPA-R3

布鲁克Bruker 原子力显微镜探针 AFM探针 轻敲模式 OLTESPA-R3

产品特点
更易定位，更适合如按样品。

OLTESPA-R3原子力显微镜探针为布鲁克贴标产品，同型号奥林巴斯OMCL-AC240TS-R3 探针。

悬臂共振频率：70(50~90) kHz（空气中），弹性系数：2 N/m。

针尖曲率半径：7nm（典型值）

AL涂层。

产品资料

OLTESPA-R3 原子力显微镜探针/AFM探针主要特点：
1.较小弹簧常数更适合测量软样品

2 N / m的弹簧常数是AC模式的硅悬臂中小的，适用于观察软样品的表面形貌和粘弹性。

2.用低电阻率硅测量表面电位

悬臂基材采用N型掺杂硅，表面电阻为0.01-0.02Ω·cm（是其他基材表面电阻的1/200）。这可以用于测量表面电位和其他应用。

3.理想情况下指向终止探针

四面体探针的顶点理想地是点终止的。

从正面看，四面体探针显示出良好的对称性。考虑几何特征，选择快速扫描（X）方向。检查扫描线轮廓和尖端顶点的放大视图。

4.备受好评的＇TipView＇结构

由于＇TipView＇结构，探头可以轻松定位在您感兴趣的位置。

探头位于悬臂的精确末端，以便在光学观察期间探头顶点不会被遮挡。

5.反射侧铝涂层

在悬臂上涂覆厚度为100nm的薄铝膜，用于反射来自AFM设备中的偏转传感器的光。可以预期用于高S / N感测的高反射。

参数规格

产品优势

关于布鲁克：

布鲁克公司以先进的生产工艺，业的AFM域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在广泛的应用域中提供完整的AFM解决方案。

布鲁克AFM探针制造中心独特优势：

*Class100别的无尘室

*先进的设计、制造工序及制造工具

*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密

*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针

*全面的质量管理体系，确保探针性能行业先

在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM域的业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。

原子力显微镜探针/AFM探针:

探针的工作模式：主要分为：扫描(接触)模式和轻敲模式

探针的结构：悬臂梁+针尖

探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm。

制作工艺：半导体工艺制作

指标：

探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。

1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。

2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。

3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁末端的水平距离。

材质：

1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；

2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；

3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。

常用探针型号介绍：

常用探针型号介绍

1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP

2. 接触模式，SNL，NP，

3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

原子力显微镜探针/AFM探针基本都是由MEMS技术加工 Si 或者 Si3N4来制备. 探针针尖半径一般为10到几十 nm。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微悬臂大约100μm长、10μm宽、数微米厚。

　　利用探针与样品之间各种不同的相互作用的力而开发了各种不同应用域的显微镜，如AFM（范德法力），静电力显微镜EFM（静电力）磁力显微镜MFM（静磁力）侧向力显微镜LFM（探针侧向偏转力）等， 因此有对应不同种类显微镜的相应探针。

　　原子力显微镜的探针主要有以下几种：

　　（1）、 非接触/轻敲模式针尖以及接触模式探针：常用的产品，分辨率高，使用寿命一般。使用过程中探针不断磨损，分辨率很容易下降。主要应用与表面形貌观察。

　　（2）、 导电探针：通过对普通探针镀10-50纳米厚的Pt（以及别的提高镀层结合力的金属，如Cr，Ti，Pt和Ir等）得到。导电探针应用于EFM，KFM，SCM等。导电探针分辨率比tapping和contact模式的探针差，使用时导电镀层容易脱落，导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖，金刚石镀层针尖，全金刚石针尖，全金属丝针尖，这些新技术克服了普通导电针尖的短寿命和分辨率不高的缺点。

　　（3）、磁性探针：应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备，分辨率比普通探针差，使用时导电镀层容易脱落。

　　（4）、大长径比探针：大长径比针尖是为测量深的沟槽以及近似铅垂的侧面而设计生产的。特点：不太常用的产品，分辨率很高，使用寿命一般。技术参数：针尖高度> 9μm；长径比5:1；针尖半径< 10 nm。

　　（5）、类金刚石碳AFM探针/全金刚石探针：一种是在硅探针的针尖部分上加一层类金刚石碳膜，另外一种是全金刚石材料制备（价格很高）。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性，减少了针尖的磨损从而增加了使用寿命。