国内干式真空泵制造业的发展空间

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用域和不同工况的要求，国外有多罗茨真空泵、多爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

干式真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单突破0.1pa限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用域和不同工况的要求，国外有多罗茨真空泵、多爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

干式真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单突破0.1pa限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。