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产品展示

Diener 等离子表面处理仪 Tetra45

Diener 等离子表面处理仪 Tetra45

点击次数:253

价格:¥电议

更新日期:2025/6/25 10:57:27

生 产 地:

产品型号:Tetra45

简单介绍: 单层处理,腔体深度接受定制,Max.1200mm · 使用PCCE/Full PC软件,拥有更精确的工艺参数控制功能 · 铝制腔体适用于半导体封装工艺

商家名片
王**
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相关标签:Diener,等离子表面处理仪,Tetra45

详细内容

德国Diener低压等离子清洗机 Tetra45 德国原装进口


特点:

· 单层处理,腔体深度接受定制,Max.1200mm

· 使用PCCE/Full PC软件,拥有更精确的工艺参数控制功能

· 铝制腔体适用于半导体封装工艺

应用:

· 各种材料表面有机物与无机物的去除

· IC/LED封装,BGA/CSP/COB基板处理

· Wafer去胶和蚀刻

· 印刷基板镀层前处理

· LED\光学\氟化材料\镜头等处理

· 塑料\橡胶\陶瓷\玻璃表面改性

技术参数:

型号

Tetra45 PCCE

Tetra45 FULL PC

控制模式

手动和自动

显示

3.5’’TFT (7’’ optional)

15’’

软件

Windows PCCE Soft

Window Full PC

真空计

PID控制,数字显示

真空计量程

0~9.99mbar

发生器*1

13.56MHz 0~600W

工艺气路

2pcs MFC/ O2、Ar、N2、He

冲洗气路

1pc

泄气气路

1pc

腔体材质

铝合金

腔体尺寸*2

W572 mm x D650 mm x H125 mm,约45L

腔体门

铝合金带观察窗

托盘:

旋转托盘 直径 Max.550mm

外形尺寸

W850 mm x D800 mm x H1700 mm

电源

3P,AC400V 16A

真空泵*3

Leybold D65C

注:

*1可以选配发生器2.45GHz 0~850W或者100kHz/0-500W

*2腔体深度接受定制,Max.1200mm

*3可以选配干式真空泵KASHIYAMA NEODRY36E


Diener,等离子表面处理仪,Tetra45

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