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光栅尺精确度与分辨率的区别

点击次数:3192 发布时间:2017/10/25 10:35:36
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光栅尺精确度与分辨率的区别


精确度(Precision)是指使用同种备用样品进行重复测定所得到的结果之间的重现性。测量精确度(也常简称精度)高,是指偶然误差与系统误差都比较小,这时测量数 据比较集中在真值附近。虽然精确度高可说明准确度高,但精确的结果也可能是不准确的。误差是准确度的表示,是实测值与真实值偏离程度,而偏差是精密度的表示,是平行测量间的相异程度。

准确度表示测量结果的正确性,精密度表示测量结果的重复性和重现性,精密度是准确度的前提条件。
普通意义的分辨率(resolution)就是屏幕图像的精密度,是指显示器所能显示的像素的多少。对于光栅尺而言是指可以测量的最小单位。



对于传感器的分辨率与精度的理解,
可以拿千分尺为例,
分辨率代表千分尺
最多可以读到小数点后几位,但精度还与尺子的加工精度,测量方法有关系。

同样的,在光栅尺的使用中,分辨率与精度是完全不同的两个概念。

光栅尺的分辨率,是指光栅尺可读取并输出的最小长度变化,对应的参数有:每毫米光栅刻线数、脉冲数、细分等。比如50线光栅和100线光栅在同等条件下分辨率就不一样,同等的50线光栅如果细分方法不一样分辨率也会不一样。

光栅尺的精度,是指光栅尺输出的信号数据对测量的真实长度度的准确度,对应的参数是微米(μm)、纳米(nm)。

目前国内光栅尺分辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么这些分辨率是怎么得来的呢?
以每毫米50线光栅为例,经过4细分,就能得到很简单的5μm的分辨率,而不用采用电子细分,这也是目前国内机床尺的多数工艺,至于高分辨率的光栅尺,就必须采用电子细分技术,增加插补细分器才能得到。高分辨率光栅尺一般应用于仪器仪表如视频仪、工具显微镜、CNC加工中心等。

影响光栅尺测量精度有如下几个方面:

A:光学部分 B:机械部分 C:电气部分 D:使用中的安装与传输接收部分,使用后的精度下降,机械部分自身的偏差。


A、光学部分对精度的影响:

光栅玻璃—主要的是母尺精度、每毫米刻线数、刻线精度、刻线宽度一致性等。

光发射源—光的平行与一致性、光衰减。

光接收单元—读取误差、读取响应。

光学系统使用后的影响—污染,衰减。

B、机械部分对精度的影响:

安装精度。轴承的精度与结构精度。光学组建安装的精度。


例如,就轴承的结构而言,单轴承支撑结构的轴承偏差无法消除,而且经使用后偏差会更大,而双轴承结构或多支承结构,可有效降低单个轴承的偏差。

C、电气部分对精度的影响:

电源的稳定精度—对光发射源与接收单元的影响。

读取响应与电气处理电路带来的误差;

电气噪音影响,取决于光栅尺电气系统的抗干扰能力;

例如,如果电子细分,也会带来的误差,按照德国海德汉提供的介绍,海德
汉光栅尺的细分电气误差与正余弦曲线误差会有一个很小的差异。


D
光栅尺使用中带来的精度影响:

输出电缆的抗干扰与信号延迟(较长距离或较快频率下);

接收设备的响应与接收设备内部处理可能的误差。

光栅尺高速位移时的动态响应偏差。

最常见的就是我们自己使用安装的方法与安装结果带来的偏差。


综上所述,光栅尺的分辨率和精度其实是两个完全不同的概念,但是二者有关联,高分辨率可以得到高的测量精度,但不是高分辨率一定能得到高的测量精度。在同等条件下,理论上高分辨率光栅尺一定可以得到高的测量精度。

原创作者:苏州量子仪器有限公司

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