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上海煜志CVD系统
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价格：￥99
更新日期：2016/12/2 11:58:10
生 产 地：中国大陆
产品型号：YG-1206I-CVD
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详细内容
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，最高真空可达0.0001Pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；
5、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
7、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
主要技术参数：
| YG-1206管式实验电炉 | 控温方式 | 采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序。 |
| 加热元件 | 0Cr27Al7Mo2 | |
| 工作电源 | AC220V 50Hz/60Hz | |
| 额定功率 | 4kw | |
| 炉管材质 | 高纯石英管 | |
| 炉管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100*1000mm | |
| 工作温度 | ≤1150℃ | |
| 最高温度 | 1200℃ | |
| 恒温精度 | ±1℃ | |
| 恒温区 | 200mm | |
| 升温速度 | ≤10℃/min | |
| 密封方式 | 不锈钢快速法兰挤压密封 | |
| ZK-F 分子泵真空系统 | 真空范围 | 0.1-0.001Pa |
| 极限真空 | 4.0*10^-4Pa | |
| 产品配置 | 双级旋片真空泵+分子泵 | |
| 测量方式 | 复合真空计 | |
| 真空规管 | 电阻规+电离规 | |
| 冷却方式 | 风冷 | |
| 工作电源 | AC220V 50/60HZ | |
| 抽速 | 110L/S | |
| ZDFC-Ⅲ 压强控制系统 | 测量范围 | 5～1*10^-5 Pa |
| 稳压(真空)范围 | 1～5*10^-3Pa | |
| 压力(真空)稳定精度） | ±3% | |
| 控制范围 | 2.5*10^3～1*10^-4 Pa | |
| 控制精度 | ± 1% | |
| HQZ-Ⅲ 混气系统 | 控制方式 | D07⁻⁷K质量流量计,D08流量显示仪 |
| 流量规格 | 0－500SCCM /0－1SLM,（可根据客户需要配置） | |
| 线性 | ±1%F.S | |
| 准确度 | ±1%F.S | |
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | |
| 响应时间 | ≤2sec | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 气路通道 | 3通道（根据客户需求） | |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 管道 | Φ6mm不锈钢管 | |
| 接口 | SwagelokΦ6mm |
