测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

1. Z轴光栅尺分辨力为0.1µm

2. X、Y轴采用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精度

3. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳

4. 同轴光/底光测量

5. 内置偏光测量光学模块

6. 自主开发QMS3D-M软件，高清晰进口1/2"彩色摄像机

7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测量

8. 可实现Z轴自动对焦

9. 具有偏光和DIC检测功能

10. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度

规格参数：

型号		JTM-6065C		JTM-6090C
工作台	玻璃台尺寸(mm)	690*770		640*1070
	X、Y运动行程(mm)	600*650		600*900
Z向行程(mm)		200		200
外形尺寸(mm)		150013501510		180013501510
仪器重量(kg)		1300		1550
X、Y、Z向分辨力(um)		0.1
X、Y示值误差(um)		E1XY=(2.5+L/200)
物镜放大倍率误差		包括畸变在内的放大率误差：≦0.08%
落射照明光源		可调高亮度LED灯源
底光照明光源		可调条型光源
电源		AC 100V-240V 50/60Hz
气源压力		≧0.5MPa
空气流量		120L/min(0.4 MPa)
温度范围		20±2℃＜1℃/h ＜2℃/24h ＜1℃/m
湿度		55%~65%
		目视系统		影像系统
物镜放大倍数		5X、10X、20X、50X
目镜放大倍数		10X双镜筒		1/2”CCD摄像机
总放大倍数		50X~500X	140X~1400 (17”显示嚣，分辨率1024*768)