工业MEMS压力传感器的三个趋势

 

第一，集成。会把更多的器件集成在传感器上，让传感器更加智能化。但是这个过程会有一个矛盾，有些集成在工业级的应用上没有问题，但是如果是做PA（工业自动化）特别是做差压的时候对压力测量产品影响或波动。所以集成应该是两种方向，在一些特定的行业，例如汽车、船舶、或工业设备上集成度越高越好，这样体积小、成本低。但是对于过程控制、流程控制等应用，测量压力的应该是独立的压力源来测，封装的时候做到集成化。

工业MEMS压力传感器的三个趋势

第二，灵敏度。预计未来三五年压力MEMS传感器会进入红海市场。但是国内的企业和国外一些企业的竞争还是有一定的差距和难度。当然本土企业也有自己的优势，所以本土企业可以往一些特定行业发展，像微压力、微差压等方面的芯片传感器，因为它的附加值较高，这就需要改变它的结构，例如增大桥阻值，同时还要做到微量程的过压性能，例如船舶、汽车等行业。船级别证必须要求过压。

工业MEMS压力传感器的三个趋势

第三，面向高温型或者宽温区的MEMS传感器。让MEMS技术和SOI工艺结合，把MEMS的天生缺陷补足。因为一般的适用温度是150度，现在SOI的瓶颈是到600度，600度以上的单晶硅材质本身变化就很大。另外还有封装工艺的问题，这也是一个课题。