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5860E  brooks气体质量流量计

5860E brooks气体质量流量计

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更新日期:2026/9/9 16:20:44

生 产 地:

产品型号:5860E

简单介绍:一、brooks气体质量流量计概览Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界*的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、

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详细内容

一、brooks气体质量流量计概览

Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界*的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。

我们的热式质量流量产品还通过了多种防护(IP)认证,适用于多种危险场所。

二、brooks气体质量流量计产品特点

  • 较低的泄漏率
  • 结构紧凑
  • 内螺纹排气口抛光处理
  • 常闭阀
  • 对安装位置不敏感

三、技术参数

  • 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
  • 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
  • 流量范围:0.03-30slpm
  • 量程比:50:1
  • 大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
  • 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
  • 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
  • 精度:±1%FS
  • 重复性:0.25% of rate
  • 响应时间:1-3s
  • 差压要求:3-6bar(压差要求与介质、量程有关)
  • 操作温度范围:5~65℃
  • 输出信号:0-5VDC或4-20mA
  • 电源:+/-15V

?四、其他系列产品

  • SLA5800S---数字型气体质量流量计/控制器
  • SLA5800 enhanced series
  • 4800 series
  • 5800S series
  • 5851EM
5860E,,brooks气体质量流量计

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