联系我们
联系人：罗健
产品展示
台阶仪超精密微观轮廓测量仪
点击次数：350
价格：￥电议
更新日期：2025/10/28 10:05:37
生 产 地：中国大陆
产品型号：NS200
- 电话: 07************202
- 手机: 18******988
- 微信:
- 交换名片后展示联系方式 → →
详细内容
产品用途
作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，NS系列台阶仪超精密微观轮廓测量仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
NS系列台阶仪超精密微观轮廓测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：
1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；
2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；
3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；
1.参数测量功能
1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；
2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；
3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
2.数采与分析系统
1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；
2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。
3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.光学导航功能
NS系列台阶仪超精密微观轮廓测量仪配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。
4.样品空间姿态调节功能
配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。
Since established in 2002, Chotest Technology Inc. is focusing on the designing ａnd manufacturing of precision dimensional measurement ａnd calibration instruments.
With more than decade professional technology accumulation, Chotest has accumulated rich practical experience ａnd set up a strong team who is specialized in optics, machinery, Electronics ａnd information technology. At present, CHOTEST has more than 100 technology patents ａnd software intellectual property rights. With competence in Micro-Nano motion, 3D Reconstruction of Micro-Nano measurement, 3D Form ａnd Surface Analysis of Micro-Nano measurement, Large-scale 3D Measurement, Precision Sensing Probe ａnd Image processing technology, Chotest is capable to provide the customers with professional precision measurement solution in domains from Nanometer to Hectometer.
Our products are widely used by public metrology labs ａnd quality inspection workshops in the automotive, aerospace, machinery, metallurgy, power, ａnd petrochemical industries. Chotest`s service net is covered more than 30 provinces in China, ａnd is also focusing on the development in overseas markets like Europe ａnd APAC.
The goal of Chotest is to provide high-end dimensional measurement equipment to manufacturing industry all over the world.
