光学表面缺陷分析仪

一、光学表面缺陷分析仪简介：

　　lumina at1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行表面检测。lumina at1既能够检测sic、gan、蓝宝石和玻璃等透明材料，又能对si、***镓、磷化铟等不透明基板进行检测，其***使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率***的有力工具。

　　lumina at1结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理，以非破环性方式对wafer表面的残留异物，表面与表面下缺陷，形状变化和薄膜厚度的均匀性进行检测。

　　1.偏振通道用于薄膜、划痕和应力点;

　　2.坡度通道用于凹坑、凸起;

　　3.反射通道用于粗糙表面的颗粒;

　　4.暗场通道用于微粒和划痕;

　　二、功能：

　　l 主要功能

　　1. 缺陷检测与分类

　　2. 缺陷分析

　　3. 薄膜均一性测量

　　4. 表面粗糙度测量

　　5. 薄膜应力检测

　　l 技术特点

　　1.透明、半透明和不透明的材料均可测量，比如硅、化合物半导体或金属基底;

　　2.实现亚纳米的薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像;

　　***0mm晶圆全表面扫描的扫描时间为3分钟，50x50mm样品30内可完成扫描并显示结果;

　　4.高抗震性能，系统不旋转，形状无关，可容纳非圆形和易碎的基底材料;

　　光学表面缺陷分析仪产品来源：

　　http://www.natengyiqi.com/parentlist-2349154.html

　　https://www.chem17.com/st125795/list_2349154.html

原创作者：广州兰思仪器设备有限公司