新微型高低温探针台_产品说明_仪器仪表技术文献

新微型高低温探针台

提供者：郑州科探仪器设备有限公司发布时间：2023/11/4 15:27:52 阅读次数：20次进入该公司店铺

一：产品参数

1．产品名称：新微型高低温探针台

2．产品型号：KT-Z4019MRL4T

3．产品品牌：郑科探 Zhengketan

4．生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

KT-Z4019MRL4T 测试腔体内部装有不锈钢加热或制冷承载台，台面为φ30，台

面可升温到400℃。台面四周装有微型 3 轴可移动钨钢探针，特别适合微小

未封装的叉指电等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械

泵可达＜5Pa 分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工别真空电信号接头，

气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由

3 轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测

试电学信号

三：主要技术要求

1．腔体材质：304 不锈钢 6061 铝合金可选

2．腔体内尺寸：127mmX57mmX20mm

3．腔体外尺寸：150mmX80mmX32mm

4．腔体重量：不锈钢材质约 1.5KG 铝合金材质约 0.5KG

5．腔体上视窗尺寸：Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

6．腔体抽气口：KF16 法兮（其余接口规格可转接）

7．腔体真空测量口：KF16 法兮（其余接口规格可转接）

8．腔体进气口：6mm 快拧或 6mm 快插

9．腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷

10．腔体水冷接口： 6mm 快插

11．允许正压：≤0.05MPa

12．腔体真空度：机械泵≤5Pa （5 分钟）分子泵≤5E-3Pa（30 分钟）

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