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高温四探针测试仪测试电阻率的原理和介绍

提供者:北京华测试验仪器有限公司   发布时间:2021/4/16 12:44:59  阅读次数:888次   进入该公司店铺

       高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率和外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其他导电薄膜的方块电阻。

那么高温四探针测试仪的测量原理是什么呢?

       测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容 -电压法、扩展电阻法等,四探针法则是种广泛采用的标准方法,高温四探针测试仪采用经典直排四探针原理,同时采用了双电测组合四探针法。

直排四探针法

       经典的直排四探针法测试电阻率,要求使用等间距的探针,如果针间距离不等或探针有游移,就会造成实验误差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时,要求计入电场畸变的影响进行边界修正。

       采用双电测组合四探针的出现,为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。

 

 

       目双电测组合(亦称双位组合)四探针法有三种模式:模式(1),模式(2),模式(3),高温四探针测试仪采用模式(2),通过用计算机对三种模式的理论进行比较研究的结果表明:对无穷大被测片三种模式都样,可是测量小片或大片边缘位置时,模式(2)更好,它能自动消除边界影响,略优于模式(3),更好于模式(1)。
那么高温四探针测试仪采用双电测组合四探针法有哪些优势呢?
1、采用双电测组合四探针法进行测试,测试结果与探针间距无关,能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响,因此四探针测试台允许使用不等距探针头。
2、采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能,对小尺寸被测片或探针在较大样品边缘附近时,不需要对样品做几何测量,也不必寻找修正因子。
3、采用双电测组合四探针法,不移动四探针针头,同时使用三种模式测量,即可计算得到测试部位的电阻均匀性。
       HEST-800高温四探针测试仪器采用四探针双电测量方法,适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料在高温、真空及气氛条件下测量的种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,配备10英寸触摸屏,软件可保存和打印数据,自动生成报表;本仪器可显示电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购。
       双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高精确度,也可应用于产品检测以及新材料电学性能研究等用途。
        HEST-800系列采用自主开发的电子护系统,设备的安全性;选用进口热电偶保定温度的采集有效值、采用的的SPWM电子升压技术,电压输出稳定性好。配备高精度电压、电流传感器以保证试验数据的有效性。
        HEST-800系统搭配Labview系统开发的hcpro软件,具备弹性的自定义功能,可进行电压、电流、温度、时间等设置,符合导体、半导体材料与其它新材料测试多样化的需求。
       高精准度的输出与测量规格,保障检测结果的品质,适用于新材料数据的检测。例如:多晶硅材料、石墨烯材料、导电功能薄膜材料、半导体材料,也可做为科研院所新材料的耐电弧性材料的性能测试。
       针对高温四探针测试仪做了多项安全设计,测试过程中有过电压、过电流、超温等异常情况以保证测试过程的安全;资料保存机制:当遇到电脑异常瞬时断电可将资料保存于控制器中,不丢失试验数所新开启动后可恢复原有试验数据。

产品应用

 

  • 应用域
  • 多晶硅材料
  • 石墨烯材料
  • 石墨功能材料
  • 半导体材料
  • 导电功能薄膜材料
  • 错类功能材料
  • 导电玻璃(ito)材料
  • 柔性透明导电薄膜
  • 其它导电材料等

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