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电镜测试镀膜喷金材料选择

提供者:仪准科技(北京)有限公司   发布时间:2020/9/14  阅读次数:40次   进入该公司店铺我要询价

 电镜测试镀膜喷金材料选择
我们平时在做FIB或者SEM时会遇到这样的问题,因为设备适用于导电性良好的材料成像或加工,对于材料导电性一般或不导电的材料应该如何测试加工呢?

这个时候我们可以用一些方法辅助增加材料的导电性,比如为材料喷金,镀pt,粘导电胶等等,除了设备本身自带的功能外,还可以用镀膜机来处理样品。

镀膜机操作简单,费用低廉。可以为样品表面增加导电材料。

北软检测失效分析实验室镀膜机,是一款多功能紧凑型机械泵磁控离子真空镀膜系统,对于FIB/SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品 – 尤其用于在FIB/SEM应用中提高成像质量。

 

各种镀膜材质选择:

– 常规SEM应用时使用最普遍的靶材;溅射速度快且导电效果最好。

– 高导电性且具有高的二次电子发射率。溅射上去的银易于去除,可使样品成像后还原到其原来状态。

– 在机械泵抽真空的溅射镀膜系统中它的颗粒尺寸最小,且具有优良的二次电子发射能力。

– 用于x射线能谱分析非常理想,因其谱线分布冲突相对较低。

/钯合金(80:20%- 通过限制沉积期间金颗粒的团聚,钯可提高最终分辨率。

碳丝蒸镀 – 碳丝蒸镀过程的闪蒸特性及快速更换碳丝的能力,使其处理样品速度非常快。

碳棒蒸发 – 用于需要减慢速度但可控性更好的蒸发过程,可制备更趋向无定形的碳膜。

 

北软检测芯片实验室能够依据国际、国内和行业标准实施检测工作,开展从底层芯片到实际产品,从物理到逻辑全面的检测工作,提供芯片预处理、侧信道攻击、光攻击、侵入式攻击、环境、电压毛刺攻击、电磁注入、放射线注入、物理安全、逻辑安全、功能、兼容性和多点激光注入等安全检测服务,同时可开展模拟重现智能产品失效的现象,找出失效原因的失效分析检测服务,主要包括点针工作站(Probe Station)、反应离子刻蚀(RIE)、微漏电侦测系统(EMMI)、X-Ray检测,缺陷切割观察系统(FIB系统)等检测试验。实现对智能产品质量的评估及分析,为智能装备产品的芯片、嵌入式软件以及应用提供质量保证。

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