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岛津气质联用仪晶圆片附着痕量有机物分析

提供者:上海斯迈欧分析仪器有限公司   发布时间:2019/8/7  阅读次数:33次   进入该公司展台

 与硅片所接触的材料,设备,人员等外界环境都包含有机化合物。在该实例中,一块8英寸硅片被压覆于一块晶片加热板上。晶片表面所产生的挥发性气体可以通过一台GC-MS进行收集和分析。

 

通常,塑料材质的零配件会检测出包含C12(1-十二碳烯)、环甲基硅氧烷(n=6)和二羧酸酯组分。

 

气相色谱-质谱联用仪

通过加热晶圆片,分析有机物挥发出的气体组分所对应的色谱图,进而对附着于晶片的有机物进行定性分析。样品可以通过一个气体收集器进行采集。此检测系统可以实现ng级样品浓度的定量分析。


上海斯迈欧经销代理众多进口品牌仪器(珀金埃尔默、赛默飞、岛津、安捷伦、沃特世、AB、耶拿、日立等),主营产品有气相色谱、液相色谱、原子吸收光谱仪、紫外分光光度计、气质联用仪、液质联用仪;斯迈欧团队成员均来自一线品牌仪器公司,具备丰富的仪器行业从业经历。

公司站在用户角度,以企业“节约成本,提高质量,科学管理”为导向,担负着各行业“质量求发展”的使命,更好地为科研单位、企业生产、院校教学、第三方检测等领域而服务。

斯迈欧公司自成立以来,始终秉承“诚信为根,服务为本”的经营理念,以敬业、创新、务实、拼搏的工作热忱,本着“精益求精、全心全力”的服务原则,为我们的客户提供精准、精密、科技、科学的计量检测仪器。


关键词:气质联用  

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