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日立热场发射扫描电镜SU7000说明

提供者:深圳市汐品科技有限公司   发布时间:2022/9/19 11:25:07  阅读次数:43次   进入该公司店铺

日立热场发射扫描电镜SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多性能。

SU7000是一台实现了获取信息新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。

核心理念

  1. 成像技术
    SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得样品信息。
  2. 采用多通道成像技术
    随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息。
  3. 支持不同形状样品、多种观察方法
    ・大型样品观察
    ・低真空观察
    ・超低温观察
    ・实时观察
    等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。
  4. 支持微纳解析
    采用肖特基发射电子枪,束流可达到200 nA,适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴荧光分析等,接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。

成像能力

追求信息检测系统

随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的提下,获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速信息收集。


采用可多通道显示的GUI设计

优化信号显示功能

 

    成像单元在信号显示上也作升。
  • 用户可根据观察需求,选择不同的视场角和通道数。
  • 单屏多可同时显示4通道信号。
  • 导航功能(SEM MAP)可以轻松捕捉到显示样品仓内信息的CCD相机图像和相机拍摄到的样品图像,快速显示目标图像。
  • 使用双屏显示时,可在一个显示屏上双通道显示1,280×960像素的图像,另一个显示屏门用来显示信号,多可同时显示6通道信号。


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