TESCAN S9000 新一代超高分辨场发射扫描电镜

TESCAN S9000 是一款功能极其强大的分析仪器，适用于纳米材料的形貌表征以及微观分析。S9000 配置 Triglav? 型 SEM 镜筒，具有超高的分辨率，在低电压下尤为明显；镜筒内探测器系统具有电子信号过滤能力，可以获得更好的图像衬度和表面灵敏度，非常适用于不导电样品的成像，如陶瓷、无涂层生物样品，以及在半导体光敏样品。此外，S9000 配备肖特基场发射电子枪，能够提供高达 400 nA 的束流，结合 Triglav? 型 SEM 镜筒所具备的出色纳米尺度分析性能和高稳定性，为微分析和长耗时样品的分析应用提供了*佳条件。

TESCAN S9000 使用了全新的 TESCAN Essence? 软件，用户界面友好，可以满足各类应用需求，可定制的布以及自动化的样品制备功能，限度地提升了操作便捷性和工作效率。

S9000 FE-SEM 主要优势：

* 强大的微观形貌观测和微分析能力

TESCAN 的 Triglav? 型 SEM 镜筒具有 TriLens? 三物镜系统 ，适用领域更加多样化。UH-resolution  物镜提供的超高分辨率非常适合于形貌细节观察，使研究人员能够更好的分析纳米级样品。全新的高分辨 Analytical 物镜可实现无漏磁成像，是磁性样品观察和分析（EDS, EBSD）的理想选择。第三个物镜可以实现多种观测模式切换，新一代 Triglav? 镜筒还具有自适应束斑优化功能，可以提高了大束流下的分辨率，这一特点有利于更好的进行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。

* 提供*佳的分析条件

肖特基场发射电子枪能够产生高达 400 nA 的电子束流，电压也可以快速改变并保证在所有的分析应用下都能够获得良好的信号。

* 让复杂的应用变的前所未有的简单

新一代 TESCAN Essence? 是一款简化的、支持多用户的软件，它的布管理器可以帮助用户快速、方便地访问所有主要功能。软件界面可自定义，以地适应特定的应用方向，符合不同用户的使用偏好。软件的各种功能模块、向导和应用方案使得无论是入门级用户或是专家级用户都能够轻松顺畅的掌握扫描电镜的操作，从而提升样品的处理速度，提高工作效率。

* 可以获得不同衬度图像，程度洞察样品 

TESCAN S9000 配备 TriBE? 探测器系统：包含三个背散射电子探测器，可以根据角度和能量的差异选择性地收集信号。Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探测器位于镜筒内，可以接收中角度和轴向的背散射电子，而样品室内背散射电子探测器则用于接收广角背散射电子。同时，S9000 还配备 TriSE? 探测器系统：共有三个二次电子探测器，可在所有工作模式下以*佳方式获取二次电子：In-Beam SE 探测器可以在非常短的工作距离下接收二次电子；SE（BDM）为电子束减速模式下的二次电子探测器，可以提供*佳的分辨率；样品室内的二次电子探测器则能提供*佳形貌衬度的图像。

S9000 FE-SEM 突出特点：

ü  的电子信号选择检测功能，帮助用户获得更好的表面灵敏度和衬度

ü  Xe 等离子镜筒可提供高达 2 μA 的超高离子束流，并保持束斑质量

ü  超高加工效率，在 30 keV 下视场范围超过 1 mm

ü  自适应束斑优化功能，有利于更好的进行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析

S9000 应用案例：

图1. 样品为铝箔，着路能量为 500 eV，可以清晰的观测到表面形貌细节

图2. 薄的生物标本，STEM 探测器，可同步采集 BF, DF 和 HADF 信号，提供超微结构信息

图3. OLED 显示单元中 Al contacts 及 SiO / SiN

图4. EBSD mapping，样品为不锈钢，采用分析模式，加速电压为 20 kV，探针电流达 20 nA,，像素大小为 100 nm