PICOSUN 生产型原子层沉积机

技术参数：
 

衬底尺寸和类型

 。156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（双面/背对背）
 。高达400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（双面/背对背）
 。大批量的3D产品（例如：钟表部件，珠宝，硬币，医疗植入部件，机械部件等）
 。多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品

工艺温度： 50 - 500 °C
 

基片传送选件：

 。气动升降（手动装载，带叉车forklift cart）
 。全自动转载，用工业机器人实现
 

前驱体： 

 。液态、固态、气态、臭氧源
 。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
 。8根独立源管线，最多加载12个前驱体源

重量： 2000 kg
尺寸：(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm
选件： PICOFLOW™ 扩散增强器，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。
验收标准： 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺 
 

深圳市蓝星宇电子科技有限公司-注欧美日多家高科技仪器设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化，为广大中国及海外客户提供先进的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用范围: 半导体/微纳，光电/光学, 生命科学/生物医疗等域的研发和应用, 客户群体例如高等院校, 研究所，科技企业及医疗机构等。

半导体/微纳，光电/光学 产品主要有： 德国ParcanNano 针尖/电子束光刻机（Nano analytik）, 紫外光刻机，激光直写光刻机，双光子微纳3D打印机（飞激光直写仪），英国Durham 无掩膜激光光刻机，瑞士NanoFrazor 3D 微纳直写机，德国Sentech 刻蚀机, 镀膜机及ALD，英国HHV真空镀膜机，微波离子沉积机MPCVD，芬兰Picosun原子层沉积机，日本及德国电子显微镜, 德国Bruker布鲁克光谱仪, 美国Thermo  Fisher赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪，美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯，美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管，德国Diener等离子清洗机等先进技术产品.

生命科学/生物医疗 产品主要有：PCR仪，电子显微镜，紫外设备，光谱/色谱/质谱/波谱仪，生物芯片，试剂，实验耗材等

并可依据客户需求，研发定制相关产品。我们以具性价比的优势为客户提供优质的产品与服务，为高等院校, 研究所，科技企业及医疗机构等高端客户提供仪器设备和材料。

    为了更好的配合部分客户需求,  我们也研发设计组装：紫外臭氧清洗机（UV清洗机），等离子清洗机等设备。

    客户参考（部分）: HITACHI日立，PANASONIC松下半导体，SHINTECH技研新阳，SUMITOMO住友，FLEXTRONICS伟创力，FOXCONN富士康，华为，艾默生, 光联通讯, 康惠半导体, 伟世通电子，南玻集团，京东方BOE，方正集团，中科院各所，清华，北大，北京理工，浙江大学, 华中科技, 中山大学, 华南理工，华南师大，哈工大, 南方科技大学，深圳大学，深圳技术大学，皇明太阳能，五星太阳能, 万和太阳能, 宝光真空太阳能, 有色院等知名客户认可并成为长期合作伙伴。

我们热诚欢迎国内外客户, 先进仪器设备/材料制造商, 科技企业及医疗机构与我们联系开展各层面的合作共赢！

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