cindbest高低温真空探针台的温度范围可选:4.2K-480K
低温和高温真空探针台 CINDBEST真空环境高低温测试技术 以下两个应用需要真空测试环境。 极低温测试: 因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 高温无氧化测试: 当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,CINDBEST针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。 CGO-C-4(闭循环)/CGO-O-4(开循环)特点: |
载物Chuck 温度范围:4.2K-480K 外置4个定位针臂 探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米 *多可以外置6个定位针臂 载物chuck 可到2寸 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 针臂定位精度可以升级为0.7微米 极限真空到10-10 torr 可以选择射频配件做67 GHz的射频测试 可以选择防震桌 可以选择超高真空腔体 客户订制 |
温控规格: 控温范围 | 4K-480K | 控温精度 | 0.1K | 温度稳定性 | 4 K + - 0.2 K | | 77 K + - 0.1 K | | 373 K + - 0.08 K | | 473 K + - 0.1 K | | 823 K + - 0.2 K(可选) | | 973 K + - 1.0K(可选) | 常温到8K冷却时间: | 1小时40分钟 | 8K到常温升温时间: | 1小时30分钟 | 从常温开始的升温时间 | 200 ℃ 550℃ 700 ℃ | (4 chuck,单位分:秒) | 1:00 1:30 2:00 | 电源 | 直流 | 材质 | 不锈钢 | 功率(4chuck) | 850W | 机械规格 针座行程 | X轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | Y轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | Z轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | 移动精度 | | X轴方向 | 10 micron | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron | Y轴方向 | 10 micron | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron | Z轴方向 | 10 micron | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron | 探针可旋转角度 | +-5 度 | | | 光学部件规格 显微镜X-Y轴方向行程 | 2"*2" | | 可以选择4"*4" | 总共放大倍率 | 240X | | 可以选择更高倍率 | 真空腔观察窗口 | 2 inch | | 外部石英材质99%红外线穿过率 | | 内部吸收红外线仅可见光通过 | 光源 | 150W可连续调节 双光纤导引 | 可选附件 防震桌 方形chuck 分子泵组 射频部件 Chuck可外部移动装置 客户定制。 |
关键词:
真空探针台 高低温真空探针台
深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)是家业从事探针台设备的研发、生产和销售,并集成代理相关实验室设备的综合性高新技术企业。主营产品有:探针台、激光测试仪、GGB高频微波探针、蜂窝式光学平台、I-V/C-V参数测试仪、3D白光干涉仪等相关实验室设备,其中探针台系列多项产品已获得家利授权。
Cindbest总部位于广东省深圳市,并在香港、上海、长沙、西安、成都等城市均设有销售网点,公司成立至,已合作过近200家高校(含内95%的985,211高校),30多家科研院所以及20多家半导体行业大型公司,与此同时Cindbest已成长为内探针台的主要生产供应商。
公司秉持着“以客户为本,以实现实验目的,助力中半导体发展为目标”的经营理念发展行。凭借优秀的产品、高质量的服务、高度认负责的态度,全面打造公司的核心竞争力,为客户和社会创造价值,赢得了广大客户和社会的致好评。
森东宝(cindbest)服务宗旨:诚实、务实、创新、互助、共赢
诚实:公司以诚实守信为立司之本,和客户往来以诚相待。
务实:公司员工皆以务实为指导精神,稳打稳扎,不断提高产品及服务质量。
创新:公司不断与内外优秀的制造商技术交流,结合内客户实际使用情况进行不断创新。
互助:公司对外以互助为目标,公司员工齐心协力,互帮互助为公司的共同目标努力。
共赢:公司和客户建立共赢关系,公司和员工建立共赢关系。
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