JS-HMDS专用烘箱，HMDS真空烤箱

    HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

JS-HMDS专用烘箱，HMDS真空烤箱的必要性：

      有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。

    在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

JS-HMDS专用烘箱技术参数：

电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率：2000W

控温范围：RT+20℃-200℃

温度分辨率：0.1℃

温度波动度：±0.5℃

达到真空度：133Pa（1torr）

工作室尺寸（mm）：450*450*450（可定做）

         上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！
       主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，无氧化烘箱，真空无氧烤箱，氮气烘箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，高精度加热台，精密恒温热板，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半导体工艺设备。黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，超低温试验箱，超低温冲击试验箱，-150度高低温试验箱，恒温恒湿试验箱，真空烘箱，热风真空烤箱，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备等。