KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。
数字式四探针测试仪 方阻测试仪 方阻检测仪
型号: DL10-KDY-1
KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的利产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器或KDY测量系统,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度,给测量带来很大方便。
主机技术能数
(1)测量范围:
可测电阻率:0.0001~19000Ω·cm
可测方块电阻:0.001~190000Ω·□
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调
量程:0.001~0.01mA 0.01~0.10mA
0.10~1.0mA 1.0~10mA 10~100mA
恒流精度:各档均低于±0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:0~199.99mV
灵敏度:10μV
基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)
输入阻抗:≥1000MΩ
(4)测量精度:电器精度:1-1000欧姆≤0.3%
整机测量精度:1-1000欧姆·厘米≤3%
(5)供电电源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(6)使用环境:温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射
(7)重量、体积:
主机重量:7.5kg
体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)
关键词:
数字式四探针测试仪 方阻测试仪
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