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数字式四探针测试仪, 方阻测试仪

产品属性本产品采购属于商业贸易行为

企业档案

北京北信科仪分析仪器有限公司

12 营业执照已上传

企业类型:生产商

公司地址:北京市昌平区西三旗龙旗广场2号楼

主营产品:仪器仪表、气体检测仪、金属探测仪、环保设备、实验室仪器、化工仪器设备、农业仪器、机电设备、电力通讯设备等近百个行业多种仪器仪表技术和相关设备。仪器产品技术支持、产品制造、销售、维护、维修、运行。

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产品简介

KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。

详细内容

公司简介

 数字式四探针测试仪 方阻测试仪 方阻检测仪

型号: DL10-KDY-1

KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的利产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.10.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器或KDY测量系统,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度,给测量带来很大方便。

主机技术能数

1)测量范围:

可测电阻率:0.000119000Ω·cm

可测方块电阻:0.001190000Ω·□

2)恒流源:

输出电流:DC 0.001100mA 五档连续可调

量程:0.0010.01mA 0.010.10mA

0.101.0mA 1.010mA 10100mA

恒流精度:各档均低于±0.05%

3)直流数字电压表:

测量范围:0199.99mV

灵敏度:10μV

基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)

输入阻抗:≥1000MΩ

4)测量精度:电器精度:11000欧姆≤0.3%

整机测量精度:11000欧姆·厘米≤3%

5)供电电源:

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

6)使用环境:温度:23±2 相对湿度:≤65%

无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射

7)重量、体积:

主机重量:7.5kg

体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)

 


关键词:数字式四探针测试仪    方阻测试仪  

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