紫外光刻胶-薄胶
紫外光刻胶-薄胶类型光刻胶型号适用光谱厚度范围/um分辨率适用工艺
紫外光刻胶-薄胶
S1800系列
g-Line,
broad line
0.5-3.5
0.5um
正性光刻胶，稳定性好；适用于分辨率要求较高的光刻工艺
AZ5214
g/h/i-Line
1-2um
0.5um
反转胶
BCI-3511
i-Line
0.5-2
0.5um
正性i线光刻胶，适用于各类接触式光刻机（mask aligner）、stepper
SPR 955
i-Line
0.5-3.5
0.35um
正性i线光刻胶，适用于分辨率要求较高的湿法腐蚀和干法刻蚀
AZ 1500
g/h/i-Line
0.5-5
1um正性光刻胶，广泛应用于半导体制造
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关键词：S1800系列
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