X 射线光电子能谱检测
项目 | 细则 | 收费 | 说明 |
手套箱进样 | 空气敏感样品测试 | 400元/样 | / |
XPS谱图测试 | 宽谱和窄谱的扫描 | 宽谱：280 元/样； 窄谱：140 元/样 | 每超过30min 按 新样算 |
XPS成像测试 | 选区和成像扫描 测试时间≤1h | 840元/样 | 每超过1h 按 1 个新样算 |
深度剖析 | Ar 离子刻蚀加元素窄 扫或成像 | 每层按 2 个样算 +150 元/次刻蚀费 | 刻蚀时间 5min/次 |
X 射线光电子能谱检测
| 主要规格及技术指标 1、本底真空度优于5*10-10mbar； 2、单色化AlKαX射线源，光斑尺寸200-900um，大光斑极限分辨率0.43eV； 3、XPS能谱分析尺寸20-900um，平行成像精度1um； 4、双极性半球形分析器，可采集ISS离子散射谱，能量分辨率优于12eV； 5、配备同轴/离轴双电子枪，可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量，能量分辨率0.68eV； 6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀，可用于不同敏感性材料的深度剖析； 7、配有反射电子能量损失谱（REELS）,可用于氢元素的定量分析； 8、配有俄歇光电子能谱分析（AES），空间分辨率可达95nm，并能够实现相应的形貌表征功能（SEM）。 |
| 主要功能及特色 1. 该系统通过测量不同元素的芯能级，能够实现高精度的元素和价态分析。 |
| 主要附件配置 1、单色化AlKαX射线源，光子能量1486.6eV; 2、双极性半球形分析器，可采集ISS离子散射谱，用于超薄表面的元素鉴定和同位素鉴定； 7、配有角分辨ARXPS,用于10nm以内各深度的无损XPS分析。 |
关键词： X 射线光电子能谱检测
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