PHI Versaprobe 4 X射线光电子能谱仪应用范围：
包括表面的元素与化学态分析（氢和氦除外）。
表面物种的化学状态的识别，包括有机和无机材料，导体和绝缘体。
深入薄膜中的组成元素分布概况，包括半导体、薄膜结构，磁介质薄膜，光学镀膜，装饰涂料，和耐磨涂层。
在必须避免会对电子束技术有破坏性效果时的样品成分分析。
关键词：X射线光电子能谱仪
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