小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜、在衬底上沉积各单层金属 膜,主要用于蒸镀电及有机半导体材料的物理化学性能研究实验研究 。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。
小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备用途
用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜、在衬底上沉积各单层金属 膜,主要用于蒸镀电及有机半导体材料的物理化学性能研究实验研究 。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。
小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备主要技术参数
真空腔室尺寸:Φ300*H400mm,预留膜厚仪接口304不锈钢材料,圆柱式,门上配有观察窗;
真空系统: 分子泵 +直联旋片泵+高真阀门; “一低一高”数显复合真空计;
限真空: 真空限优于 5×10-5Pa ;
温度范围: RT-600/1600℃,可调可控;
基片台尺寸:大可镀基片尺寸/面积:Φ100mm 范围内可装卡各种规格配 套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。
基片台旋转:0-20 转/分钟,可调可控;
蒸发源及电源:水冷蒸发电,金属蒸发电源;
控制方式:PLC+触摸屏,自动控制;
报警及保护:对泵、电等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统;
设备配电: AC220V/50HZ ,功率:3.5KW;
设备尺寸:长×宽×高:500*360*420mm;
关键词:
小型蒸发镀膜仪 实验室气相沉积设备
上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能、航空航天等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务!
主要业务项目有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,无氧化烘箱,真空无氧烤箱,氮气烘箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,高精度加热台,精密恒温热板,LED烤箱,PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱,半导体工艺设备。黑蒜加工设备,黑蒜发酵设备,超低温试验箱,超低温冲击试验箱,-150度高低温试验箱,恒温恒湿试验箱,真空烘箱,热风真空烤箱,环境检测仪器,实验室研究仪器,橡塑检测仪器,电缆检测仪器设备等。
免责声明:以上所展示的[小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备]由会员[上海隽思实验仪器有限公司]自行提供,[小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备]内容的真实性、准确性和合法性由发布会员[上海隽思实验仪器有限公司]负责。[阿仪网]对此不承担任何责任
友情提醒:为规避购买风险,建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质以及产品质量!