2025飞纳电镜选型

—— Free to Achieve ——

飞纳 （Phenom） 源自 FEI，诞生于荷兰 “发明之城” 埃因霍温，以 “任何人都可用的电镜” 闻名于世。让您的扫描电镜测试变得简单高效是我们一直以来的目标。

飞纳目在中国拥有 2000 多名用户，包括数百家高校；中科院等各类研究院所；政府机构；以及新能源、生命科学等企业单位。研究域涉及金属及合金，电池，地质，考古，高分子，静电纺丝，陶瓷，复合材料，生物医学，微生物等。

制样简单 无需喷金即可观察不导电样品

飞纳台式扫描电镜

• 相较传统电镜，成像速度提升 10 倍：

• 独家采用，平均 3 年以上更换灯丝

• 不挑安装环境，，放置高楼层也无需担心

• 原厂集成能谱 EDS，

• 让精密仪器无后顾之忧，

• “老”的电镜，也是“新”的电镜!

• 自动化扫描电镜，让测试效率翻倍

01. 新品速递

2024 年，飞纳电镜推出一系列新技术－－ ChemiSEM 彩色成像软件，ChemiPhase 物相分析软件和 Phenom MAPS 大面积能谱拼图软件等新技术，不仅打破大家对于扫描电镜图片是黑白的传统认知，而且将扫描电镜成像分析带入一个全新的高度。

ChemiSEM 技术

EDS 能谱仪在电镜工作时始终在后台收集成分数据，利用算法同时处理 BSE 和 EDS 信号，实时显示样品的形态和定量元素分布结果。简化对金属、陶瓷、电池、涂层和软材料等多种材料的复杂分析。

ChemiPhase 物相分析

统计分析 X 射线面扫成像数据，并按照成分组成的特异性进行相的划分，提取出特征相分布。同时具有相归类，计算相比例等功能，非常适用于合金、陶瓷、矿物分析等域的测试分析。

Phenom MAPS 系统

Phenom MAPS 提供的是一个涵盖所有样品信息的数码存档，从全面（宏观）到具体（微观）无所不包，彻底变革了传统扫描电镜的分析与数据存储模式。并且，多图层数据可以包含能谱。

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此外，飞纳电镜还为大家带来集成于台式扫描电镜的 AFM（原子力显微镜）方案 —— Phenom AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机，实现在同一系统中对样品进行多模态（SEM 及 AFM 形貌、元素、机械、电学、磁学）的关联分析。

Phenom AFM-SEM 在样品分析和先进的 3D 相关成像方面为用户提供了所未有的可能性，具有无与伦比的图像对齐精度。多功能性证明了其在材料科学、纳米技术、半导体、太阳能电池开发、生命科学和其他研究域以及工业应用等各个域的适用性。

02. 电镜选型

系列一 | 台式场发射扫描电镜

飞纳台式场发射扫描电镜，完全防震，在台式机身上获得接近大型场发射的性能。优秀的低电压成像能力，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，大程度还原样品的真实形貌。延续电镜能谱一体化设计，升的快速面扫可以即时显示所选元素的分布情况，实时能谱分析功能大幅提升了检测效率。

产品特点

• 肖特基场发射电子枪

• 分辨率高的台式电镜

• 可选 STEM 模式：BF、DF、HAADF 像

• 卓越的低电压成像

• 电镜能谱一体化设计

• 不受震动、磁场等环境因素干扰

型号推荐

Pharos STEM 扫描透射电镜

• 分辨率：优于 1nm

• 成像模式：BF、DF、HAADF

Pharos G2 台式场发射扫描电镜

• 分辨率：优于 1.5 nm

• 放大倍数：2,000,000 X

Nano G2 台式场发射扫描电镜

• 分辨率：优于 2.5 nm

• 放大倍数：1,000,000 X

系列二 | 六硼化铈灯丝（CeB6）扫描电镜

全新一代六硼化铈（CeB6）晶体灯丝扫描电镜，台式设计，完全防震。操作便捷，适用不同经验别的用户，培训 30 分钟即可上手操作。支持拓展各种特色功能。

产品特点

• 独家采用 CeB6 灯丝，高分辨成像，使用时长不低于 1500h

• 成像快的扫描电镜：15s 抽真空，30s 成像

• 电镜能谱一体化设计

• 不受震动、磁场等环境因素干扰

型号推荐

Phenom XL 大样品室卓越版

• AI 智能化全自动扫描电镜：Maps 地图式多模态、多维度自动扫描拼图及关联系统

• 100x100mm 大样品仓室：36 个样品位、超越落地式电镜的样品可视区域（100*100 mm）；可选配原位拉伸/压缩样品台

• 完全集成能谱 EDS（选配）：原厂集成能谱探测器，实时能谱面扫，物相分析，大面积能谱拼图

• 开放编程接口的自动化扫描电镜：支持自定义脚本编程，自定义属您的SEM工作流，可自定义自动化拍照、自动形成数据报告等

高性价比系列推荐

Phenom ProX

• 放大倍数：350,000 X

• 分辨率：优于 6 nm

• 探测器：BSD，SED（可选），EDS

Phenom Pro

• 放大倍数：350,000 X

• 分辨率：优于 6 nm

• 探测器：BSD，SED（可选）

Phenom Pure

• 放大倍数：175,000 X

• 分辨率：优于 10 nm

• 探测器：BSD，SED（可选）

系列三 | ParticleX 全自动扫描电镜

ParticleX 以扫描电镜和能谱仪为基础，结合自动控制系统以及强大的数据库系统，可以全自动对杂质颗粒进行快速识别、分析和分类统计，为客户的研发以及生产提供快速、准确和可靠的定量数据支持。

型号推荐

ParticleX Battery 全自动锂电清洁度分析

• Cu、Zn 异物及铁磁性异物检测

ParticleX TC 全自动汽车清洁度检测

• 符合 ISO16232，VDA19 标准

ParticleX Steel全自动钢铁夹杂物分析

• 一体化钢中非金属夹杂物分析

ParticleX 全自动颗粒统计分析

• 颗粒分析及过程控制的工业解决方案

系列四 | 刑侦司法鉴定用扫描电镜

Phenom GSR 枪击残留物分析

在枪支犯罪事件中，枪击残留物（GSR）的分析发挥着重要的作用。GSR 分析技术先基于扫描电子显微镜（SEM）的背散射成像，用来扫描样品和发现 “可疑” 的 GSR 颗粒。一旦发现可疑的颗粒，使用能谱（EDS）识别该颗粒的元素。常见的搜索元素为 Pb，Sb 和 Ba。无铅底火的检测，例如 Ti 和 Zn 也可作为搜索条件进行搜索。

Diatom AI 自动检测系统（电镜）

DiatomAI™ 利用人工智能的技术，赋能法医硅藻检验系统，配合 DiatomScope™ ，实现了扫描和检测的全自动化。它是目市面上可靠、高效、自动化程度高的硅藻检测解决方案，帮助法医在检测过程中实现硅藻的全自动检测，识别过程全程无需人工参与。大大缩短了检测时间，提升工作效率。

03. SEM 样品制备

SEMPREP SMART 配备了高能量和可选的低能量氩离子枪。用于扫描电子显微镜（SEM）和电子背散射衍射（EBSD）样品的终加工和清洁。离子加工可以改进和清洁机械抛光的 SEM 样品，并为 EBSD 分析制备无损表面。该设备还适用于快速截面加工。为您制备高精度和高质量的样品，例如在半导体测试或锂离子电池隔膜的截面检查中均能实现出色的效果。

产品特点

• 氩离子束无应力处理样品

• 定位精准：可实现± 1微米

• 离子枪能量高：0-16KV

• 超大样品腔室：可容纳直径 50mm 样品

• 独家制冷设计：液氮 LN2 制冷

• 可选配真空转移功能

应用案例｜电子器件失效分析

在对焊接部位的焊接情况进行分析时，需要观测该部位剖面的合金相分布情况，此时需要用到截面切削的制样设备－－离子研磨仪，进行无应力样品切削制备后，使用飞纳电镜进一步分析焊接情况。

 1,000X （Mix模式，离子研磨后）                                                                                                              3,000X （Mix 模式，离子研磨后）

进一步结合 EDS 能谱面扫分析可知：银-锡膏和铜面结合，界面有铜-锡为主合金化晶粒生长，铜引脚有镀镍层，并在内部发现有大量的铁富集相夹杂，近铜界面发现有气孔存在。

焊锡截面扫描电镜 EDS 能谱面扫结果

使用 SEMPREP SMART 处理后的扫描电镜（ SEM）图：

氧化铝陶瓷材料扫描电镜图

半导体失效分析（扫描电镜图）

锂电池正片扫描电镜图