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深圳市森东宝科技有限公司 主营产品:国产手动探针台,探针测试台,分析探针台,四探针测试仪,探针台生产厂家,晶圆探针台,探针台价格,真空高低温探针台,GGB探针,高频探针,压力探针,半导体测试探针,射频探针,钨刚探针,精密光学平台,光学平台厂家,三维调节探针座,美国GGB探针中国代理商,model 110GHz毫米波探针

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优质低价高低温真空探针台,高磁场环境下测试探针台直销商

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:CGO 原产地:中国大陆 发布时间:2014/5/14 18:36:13更新时间:2020/6/2 8:26:28

产品摘要:探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

产品完善度: 访问次数:1829

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参观次数:210977

手机网站:http://wap.app17.com/c95661/

旗舰版网址:http://www.cindbestayiw.com

详细内容

 CGO高低温真空探针台





注:站内留言,不予回复!!!





产品简介

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试:

当晶圆加热至300,400甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,CINDBEST针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

 

CGO探针台能够胜任的测试有:

 

 

序号

根据测试样品分类

 

序号

根据应用分类

1

晶圆测试

 

9

射频测试

2

LED测试

 

10

高低温环境测试

3

功率器件测试

 

11

低电流(100fA 级)测试

4

MEMS测试

 

12

I-v/c-v/p-iv测试

5

PCB测试

 

13

高压,大电流测试

6

液晶面板测试

 

14

磁场环境测试

7

太阳能电池片测试

 

15

辐射环境测试

8

材料表面电阻率测试

 

 

 

 

CINDBEST CGO系列极高/低温真空环境探针台,开/闭循环制冷,标配控温范围:4.2K-480K,另可以根据客户需求订制。




应用领域

探针台应放在稳定可靠的台面上,是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

 

使用*佳温度范围为5℃~40℃,*佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。

 

使用电源:220±10%,50~60Hz

 





 



 参数规格



规格

 载物Chuck 温度范围:

4.2K-500K(液氦) 78k-500K(液氮)

控温精度

0.1K

 

 

温度稳定性

 

 

 

 

 

4 K        + - 0.2 K

77 K     + - 0.1 K

373 K    + - 0.08 K

473 K       + - 0.1 K

823 K       + - 0.2 K(可选)

973 K    + - 1.0K(可选)

常温到8K冷却时间:

1小时40分钟

8K到常温升温时间:

1小时30分钟

 从常温开始的升温时间          

15     250     400 

 (4 chuck,分:秒)

2:00         5:00        10:00

系统极限真空优于

1.2*10^-5 Torr

电源

直流

材质

不锈钢

功率(4chuck) 

500W

定位针臂

4个,可升级到6个

探针X-Y-Z三方向移动

行程:50mm,定位精度:5微米。可升级更高移动精度

载物chuck 尺寸

可以做到4英寸

双屏蔽同轴测试夹具

 

漏电精度100fA,可升级射频夹具

Chuck 平整度

5um

 

需求

电力

220 VAC, 60Hz

 

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

 

尺寸

850mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜)

重 100 Kg(带显微镜) 

可选附件

激光切割

探针卡夹具

加热台

防震桌

显微镜气动升降装置

显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测

光强/波长测试接口部件

射频测试探头和线缆

有源探头

低电流/电容测试

高压测试

CCD视频系统

液晶漏电分析套装

屏蔽箱

镀金Chuck





配件






1、体式显微镜  (可选配高倍率晶相显微镜)



 

产品参数和特点


1  鉴别力高,视场范围大,景深长。
2  工作距离长至115mm
3  左右目镜屈光度可调正负5度,能满足不同视力的操作者观察。
4  能随意调节手轮的力矩,满足不同操作者的使用习惯,更可以锁定手轮,方便定倍观察。
5  本显微镜为连续变倍,变倍比为6.31 ,物镜变倍范围0.8X-5X
6  双目观察倾斜45度,双瞳距调节范围52-75mm.

产品优点:

产品造型比较新颖
机械特性优越,操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上,符合标准
超长的工作距离位于国内同行之首
独有的3A设计
创见性人机学设计,产品细节考虑全面。
3A特性:
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域:
教学示范,生物工程,IT产业检测,材料分析等领域。

 

2、JVC模拟CCD

Figure 9: LN2-PP1 Dewar Lid and Pressure Relief Valve Detail  

                                       

特点

1/3寸CCD,44万像素

535电视线的水平分辨率

0.7Lux的照度(F1.2,25%,AGC开启)

50dB的高信噪比(AGC OFF)

内置10bit 数字图像处理器

 

 

Winfast XP100视频采集卡  

                                                      

特性

可选择的影像来源信号

可以提供不同的输入端子,使其能够连接不同的影像

输出设备,如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、

影音光碟机及CCD摄影机,提供全方位的解决方案。                        

● 可编辑剪接影像片段

可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉,并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或一般的图形档,再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体,便可加入各种特效与剪接编辑。

 


3、探针夹具

 

●  管状式

测量微弱电流用,同时可接高压,采用进口triax线缆,前端管装屏蔽结构,漏电小于100FA,高压可耐1000V(需要配合屏蔽箱)

 

 

 

●  弹簧式 

使用便利,可用于较短时间的大电流(超过1安培)稳定性好,采用进口同轴线缆,精度漏电为10PA,输出BNC(male)接头

 

 

4、美国GGB探针

型号

针尖直径

针杆直径

 

针长

 

材质

根/盒

软针类:适用于集成电路内部线路点针

T-4-5

0.2 微米

0.51mm

 

51mm

 

硬钨材质

 

5

 

0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上

 

T-4-10

0.7 微米

0.51mm

 

51mm

硬钨材质

 

5

 

0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 

 

硬针类:适用于集成电路电极点针

ST-20-0.5

 

1 微米

0.51mm

38mm

 

硬钨材质

 

10

ST-20-1.0

 

2 微米

0.51mm

38mm

 

硬钨材质   

 

10

ST-20-2.0

 

5 微米

0.51mm

38mm

 

硬钨/铍铜材质

 

10

ST-20-5.0

 

10 微米

0.51mm

38mm

 

硬钨/铍铜材质

 

10

ST-20-10

 

20 微米

0.51mm

38mm

 

硬钨/铍铜材质

 

10



5、防震桌

特点:隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好。自动水平,自动充气,全部气动执行元件采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。

 

应用范围:适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

 

技术参数:

台面为三层夹心蜂窝状支撑结构,采用ICR17优质高导磁不锈钢

平台表面粗糙度0.5〜0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有频率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重复定位精度±0.10 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

 

 

具体尺寸可根据客户需求定制

 




 6、
探针cindbestCB-80系列


特点

真空波纹管结构

X-Y-Z 方向的移动行程分别为50mm

线性移动

精度5微米

Triaxial (Female)高真空电信接口法兰

可升级到更高的移动精度


7、
空气压缩机


规格:

电压:AC220V

功率:550W

流量:40L/min

转速1380r/min

储气罐8L

净重:14.5kg

功能

为防震平台提供压缩空气

特点

● 无油静音,特别适合实验室和洁净室使用。

● 7升/分钟,可24小时无间断运转。

 



8、高低温控制系统

两路PID温度控制

50W样品台直流加热

50W防辐射屏直流加热

温控范围:77K-500K(液氮),4K-500K(液氦)

PID温度控制器分辨率:0.1℃

传感器温度误差:任何一区段 0.5%

包含三只硅二极管温度传感器:样品台,辐射屏,探针臂




9、爱德华分子泵组

抽气速率(N2):42l/s (采用NW40波纹管)

极限压力 5*10^-8 mbar

压缩比(N2):>1*10^11

 

10、40L液氮杜瓦罐

自增压

全不锈钢制造,容器强度高

可以调节压力和针阀精密流量控制

使用安全可靠、排液方便快速、静态液氮日蒸发率低

独特的罐体支架,罐体稳定性好

高强度大脚轮,移动更方便

双安全阀结构,确保产品使用安全

 

探针台的使用方法


1、 打开真空腔盖,将样品固定到样品台中心位置,然后盖上真空腔盖

 

2、 检查真空腔体上所有真空阀门并确保都是处于关闭良好状态,启动真空泵

 

3、 待真空度达到要求后,打开温度控制器,观察温度显示是否正常,如果正常进行下一步

 

4、 打开液氮罐输液阀门,控制流量,让液氮缓慢流入样品台制冷腔,待温度降至基准温度后,调节温度控制器,设置目标温度,待稳定后进行下一步

 

5、 将显微镜移到观察窗上方,调到倍率,调节焦距找到待测样品;逐步增大放大倍率,知道能清楚的观察待测样品的待测电极。

 

6、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,*后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。

 

7、 确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试


注意事项

 当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。

 

症状

可能原因

解决方法

移动样品后画面变模糊

显微镜不垂直

调垂直显微镜

样品台不水平

调水平样品台

样品不平

 

显微镜像质变差

目镜脏

物镜脏

管镜脏

对目镜,物镜,管镜脏的地方进行清洁

孔径光栏关的太大或者太小

调节孔径光栏

没有调好焦

调节调焦手轮

样本上盖有盖玻片等介质

移开盖玻片等介质

图像一边清晰,一边模糊

样本倾斜放置

放平样本,或者调节样品台水平

物镜没有旋紧

旋紧物镜

眼睛容易疲劳

双目头的瞳距和操作者不匹配

调节双目头的瞳距

 

目镜视度调节不正确

调节目镜视度

 

照明亮度不合适

调节光源亮度或者孔径光栏孔

真空度变差

真空阀没有关闭良好

拧紧各真空阀门

密封圈损坏

更换密封圈

真空腔盖没有放置到正确位置

检查并校正位置

真空波纹管漏气

联系厂家处理

真空泵抽气管法兰安装不稳

拆下重新安装,拧紧法兰卡箍




维护和保养


.1 避免碰撞

 

在安装,操作探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。

 

6.2 仪器的运输

 

仪器运输时,请先拔掉电源线插头。

仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。

6.3 仪器的存放

 

使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械精密部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。

探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。

探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。

停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

操作人员必须严格按要求操作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。

 

 售后服务流程









注:站内留言,不予回复!!!












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