CL系列探针台测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

参数规格

CL系列总体规格特点

● 重量:

CL-4 50KG左右（带显微镜）

CL-6 60KG左右（带显微镜）

CL-8 80KG左右（带显微镜）

● 尺寸：

CL-4约 560mm宽*610mm长*550mm高（带显微镜）

CL-6 约600mm长*650mm宽*600mm高（带显微镜）

CL-8 约640mm长*720mm宽*620mm高（带显微镜）

CL系列探针座台面规格

● 探针台台面平整度：5µm。

● CL-4台面可以同时容纳8-10个探针座

CL-6，CL-8分别可以同时容纳10-12个探针座

CL-12台面可以同时容纳12个以上探针座

卡盘（载物台）规格 （可选配镀金卡盘，高温加热卡盘）

● 卡盘尺寸分为4" ，6"，8"三种

卡盘平整度：5µm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径最小可做到250微米（可根据客户需求定制孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

● 卡盘可30度旋转，方便点测时样品在X-Y轴方向上调平。（根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮）。

● 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为4"X4"（6"X6"，8"X8"），移动精度为20um，配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。

原创作者：深圳市森东宝科技有限公司