12.0洁净室洁净度－尘埃粒子数测量

简易CLJ-3016H手持式激光粒子计数器

限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采用电池或交流电工作。

这类产品粒径通道又可分为双通道型，由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。

便携式激光粒子计数器

这类产品较手持式的机构相对复杂些，测量精度较高，因而体量、重量也较大，一般用于洁净室认证检测，通常有小流量与大流量之分，但均为多通道，根据所测试洁净室的级别不同对所需机型可有所选择。这类产品多数内置打印机，也有的采取数据存储后输出打印方式。

用于洁净环境实时监控的激光粒子计数器及相关设备

为了在洁净室运行过程中，及时了解与判定洁净室环境，特别是一些关键区域或部位所处的状态，是否依然和始终符合生产或科研所规定的技术指标，洁净室管理者需要对其主要技术指标进行实时监控或周期性监测。一些高级别洁净室为此对一些关键指标：洁净度、温度、湿度和惰性气体等设置了连续巡查的装置，以便随时考核洁净室的受控状态。

远程空气颗粒计数仪特点：

大流量1.0cfm（28.3升/分）和0.1cfm（2.83升/分），可最小监控0.2μm粒径颗粒，2个标准粒径尺寸通道

市场上系列远程空气颗粒计数仪普遍性能：

◆监控粒径0.2μm-10μm（在此范围可选通道）

◆可集成进入 FMS系统（计算机集中控制和管理的制造系统）

◆维护简便和方便校验数据输出以太网和模拟通讯方式

◆内置流量传感器，流量偏差时能提早报警。

另一种顺序监测系统则仅在洁净室各关键部位设置空气采样口，通过气溶胶导管将所设置的多个采样口与配置有激光粒子计数器及计算机的顺序监测系统相连。由计算机控制激光粒子计数器顺序与各采样口的气溶胶导管相通，由气泵采入与之相通的空气采样口处的空气，进行粒径与数量的测量，并将结果录入计算机中。

原创作者：上虞市星星仪器设备有限公司