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半导体IC晶圆硅片金相工具测量显微镜

点击次数:916发布时间:2013/2/21

半导体IC晶圆硅片金相工具测量显微镜

更新日期:2016/9/19 9:41:08

生 产 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:半导体IC晶圆硅片金相工具测量显微镜不仅能测量长度,还能通过目镜的观测来检查表面的处理状态或其他要素的显微镜的高附加值系统
,在一台显微镜中集成了金相显微镜和测量显微镜功能,能提供高分辨率观察和高精度测量

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详细内容

金相工具显微镜QI-U系列
本机特性:
◆ 该系统设备一款通用型落射照明器,它可以满足各种观察需求,如明场,暗场,简易偏光,DIC以及落射荧光。根据工作或观察目的,可以选购高亮度12V-50W卤素灯光源何白色LED光源
◆ 这是一个基于一个不仅能测量长度,还能通过目镜的观测来检查表面的处理状态或其他要素的显微镜的高附加值系统
◆ 带有闪烁抑制的新光学系统可在大视野范围内产生清晰的正像(2X:与常规产品相比,能减少了80%的闪烁)
◆ 在一台显微镜中集成了金相显微镜和测量显微镜功能,能提供高分辨率观察和高精度测量
◆ 在立柱两侧标配Z轴粗/微调手柄,可进行精准调焦何观察/测量
◆ 可选配置视像装置等多种选件,使标准测量显微镜更具魅力
应用:半导体封装,焊接贴片,环路高度,FPD面板(LCM),MEMS,晶片级CSP,硬盘滑行磁头
仪器型号 MM-U400 MM-U800
X/Y/Z测量行程 200*100*150 300*200*200
Z轴移动 手动/电动 手动/电动
Z轴线性光学尺 内置 内置
光学头 日本尼康、奥林巴斯金相光学头选配
分 辩 率 0.001/0.0001 0.001/0.0001
目镜 10X
物镜 10X、20X、40X、100X 选配
测量精度 (2+L/200)um,L=测量长度(单位:mm)
重 复 性 2um 2um
载重量 15Kg 15Kg
光源 LED同轴光照明器
外 形 尺 寸 1000*600*1400mm 1200*720*1600mm
机 身 重 量 100kg 120kg
工作台底座 工作台铸铁采用天然失效处理,配合瑞士进口SCHNEEBERGER导轨

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