位移台的误差在装配完后，在固定的环境条件下，基本已经不变了。若要减少位移台的误差，必须找出影响位移台的各项误差来源。误差源主要包括原理误差、制造误差、运行误差。

原理误差是由于应用的工作原理的理论不完善或采用了近似理论所造成的误差。制造误差是指在制造过程中位移台中各零件产生的误差。在设计零件时，应注意遵守基面统一原则，减少制造误差。运行误差是指在位移台运行过程中由于零件的变形、零件之间的摩擦、温度等引起的误差。如图（2）为位移台中的误差源。

图2 位移台的误差源

Fig.2 Error Sources of Displacement Instrument

位移台的定位精度误差计算分析

以运行误差的来源为依据、精度分析为指南。采用逐步接近法，合理分配精度。如图（3）为位移台结构简化图。

图3 位移台结构简图

Fig.3 Structure Sketch of Displacement Instrument

工作台精度方程与不确定方程[9]为：

            （1）

（1）式中项步进电机精度对工作台运动精度影响；第二项为定位丝杠的影响。

精度传递函数分别为：

结构参数精度只能占工作台精度±（2-3）μm的70%，所以工作台定位精度=±（1.4-2.1）μm，并将它分配到电机、丝杠副。

原创作者：北京卓立汉光仪器有限公司