真空检漏关键词

漏气：气体通过装置，容器上的漏孔或间隙，从高压测流到低压去的现象叫漏气， 也叫实漏。

虚漏：在系统内，由于气体或蒸气的放出所引起的压力增加现象。

漏率：在某种特定压强下，某种气体通过漏孔的单位时间的流量大小pa*m3/s

渗漏：气体通过材料从高压侧漏到低压侧去的现象

检漏：检测漏气部位及漏率大小的过程

漏孔：气体在压力或浓度差的作用下，从器壁的一侧通到另一侧的孔洞。

标准漏孔：在规定的条件下，漏率已知的一种校准漏孔

检漏仪：用来检测被检件漏孔位置及漏率大小的仪器

检漏仪的最小可检检漏率：当存在本底噪音时，将检漏仪及其外部检漏系统调整到具体检漏工作状态（允许有分流），当示漏气体通过被检件上的漏孔时，全部（或者部分）示漏气体进入检漏仪，在此情况下所能检出的最小漏率。

反应时间：从示漏气体施加到漏孔进气端开始，到检漏仪净偏转到最大漏气信号的63%所经历的时间，可以认为他与漏孔大小及施氦浓度无关

观察时间；从示漏气体施加到漏孔进气端开始，到检漏仪净偏转到达最大漏气信号的90%所经历的时间，

灵敏度；检漏仪对示漏气体泄漏的响应（即单位漏率显示的表盘刻度值）

质谱：主要就是通过不同分子m/z（质量电荷比）的不同，通过电场（或电磁场）将他们区分开，在对信号进行探测（【相对分子（原子）质量的图谱】）

漏气是绝对的，不漏是相对的，所谓 不漏 是指漏孔的漏率远小于容许漏率或检漏仪的最小检漏率。

原创作者：合肥迪泰氦质谱检漏仪真空技术有限公司