表面分析技術的分類

表面分析技術依使用者來分類，大略分成兩類，一類是較具實用性，科技公司會採購。此類儀器有歐傑電子能譜儀以及X光光電子能譜儀以及二次離子質譜儀。這三種儀器因常分析實際產品，量測的表面不需要是乾淨的單晶表面，想取得的資訊為：待測的表面原子是那個元素？有沒有氧化？有沒有與別元素反應？其中銷售較好的商業機器是歐傑電子能譜儀以及X光光電子能譜儀，二次離子質譜儀售價較貴，銷售量較不普遍。當然這些機器也可執行學術性的研究題目，是學術、研究機構的重要分析利器。另一類較具學術性，專門提供需深入探討表面性質的研究設備，一般科技公司很少購置。此類儀器有低能量電子繞射，反射式高能量電子繞射，掃瞄式探針顯微鏡，表面X光吸收微細結構，角解析光電子散射儀等。研究的對象是乾淨的單晶表面以及表面上的的各種反應，如此取得的訊號較易與理論計算比較。

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