直接空气捕集（DAC）的流量计，精度权重和产线设备不在一个量级

直接空气捕集（DAC）面对的是大气中约400 ppm的CO₂浓度。在这个浓度水平上做吸附和脱附实验，测量链路上每一个环节的误差都会被放大到最终结果中。

一台MFC的精度在合成不确定度里的分量

有一项DAC吸附研究在固定床反应器上使用MFC控制进料气体流量，进料为400 ppm CO₂/N₂，流量1或2 L/min。研究者对合成测量不确定度做了拆解：红外分析仪的线性误差（≤满量程2%）、MFC的精度（±1%）、死体积校正（<2%），按正交传播后合计约±5.5%。这个数字本身不必过度解读，但它说明一件事：在痕量浓度的测量中，流量控制的偏差不会被“稀释”，而是作为独立分量进入总误差预算。

DAC对流量控制的要求与工业产线不同

工业产线上的MFC，流量偏差通常体现为工艺参数的偏移；DAC实验中的流量偏差，则直接影响吸附穿透曲线的形状和吸附容量的计算结果。此外，DAC吸附步骤通常在环境温度下进行，脱附步骤需要升温并用吹扫气再生床层，流量控制在吸附和脱附两个阶段的设定值差异较大，MFC需要在同一套装置上覆盖不同的流量区间。

芯笙微纳的MEMS热式流量测控技术在中小流量气体控制方面有产品基础，可为DAC实验装置和中小试设备的气路提供配套选择。对于从事碳捕集研究的团队来说，在实验设计阶段把MFC的精度贡献纳入不确定度分析，而不是默认“流量是已知条件”，有助于更清楚地理解测量结果的边界。

原创作者：青岛芯笙微纳电子科技有限公司