显示面板行业中的气体流量测控：从LCD到OLED

显示面板行业是气体流量测控的一个重要应用领域。从LCD到OLED，从蒸镀到刻蚀，面板制造过程中多个环节涉及气体的流量测量和控制。

LCD产线中的气体应用

LCD面板制造中的气体流量测控主要出现在刻蚀、薄膜沉积和清洗环节。刻蚀工序需要按比例输送刻蚀气体，薄膜沉积需要控制硅烷、氨气等反应气体的流量。这些环节对流量控制器的响应速度和长期稳定性有要求。

OLED产线的新需求

OLED面板制造增加了蒸镀工序。蒸镀过程中，有机材料在真空环境下加热升华，沉积到基板上形成发光层。蒸镀环节需要控制腔室内的气体氛围和压力，涉及气体流量的调节。

此外，OLED的薄膜封装工序需要在较低温度下沉积保护膜，对气体流量控制设备在低温环境下的稳定性有相应要求。

面板产线连续运转的特点

面板产线通常处于连续运转状态，一条产线一旦启动，往往需要数月不间断生产。这对配套流量测控设备的长期漂移表现和可靠性提出了实际要求。设备厂商在选择流量测控器件时，通常会关注供应商的产品一致性数据和现场运行反馈。

国产配套的进展

在显示面板领域，国产设备及配套器件的导入正在推进。青岛芯笙的MEMS质量流量计和控制器产品，在气体流量测量方面有技术积累，可为面板设备厂商提供配套选择。公司具备的标定装置和无尘封测车间，为产品在面板场景中的一致性提供了制造和校准基础。

原创作者：青岛芯笙微纳电子科技有限公司