热式、层流压差、MEMS——气体流量控制器的技术路线之争

气体质量流量控制器（MFC）的技术路线并不单一。目前市场上主流的技术路线包括热式毛细管、MEMS热式、层流压差等。不同路线各有特点，适用于不同的应用场景。

热式毛细管技术是较早成熟的技术路线，通过测量气体流过毛细管时带走的热量来计算流量。这种技术路线在稳定性方面有一定积累，但响应速度相对较慢，体积也偏大。

层流压差技术通过测量气体在层流状态下通过节流元件时产生的压差来计算流量。这种路线在数据稳定性和重复性方面表现突出，但对气体的洁净度要求较高，在含有颗粒物的气体环境中容易受到影响。

MEMS热式技术是近年来发展较快的一条路线。基于MEMS（微机电系统）工艺制造的流量传感芯片，热容小、响应快、量程比宽、安装方向不受限。这些特性使得基于MEMS技术的MFC在空间紧凑、动态响应要求高的场景中表现突出。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司走的是MEMS路线。公司与山东大学的产学研合作已经在跨气体测量精度方面取得进展。公司自主研发的MEMS流量传感芯片，已成功应用于半导体制造等场景。

技术路线没有绝对的好坏，关键在于匹配应用场景。对于用户而言，了解不同技术路线的特点，结合自己的工况条件做选择，比单纯看品牌更有意义。

原创作者：青岛芯笙微纳电子科技有限公司