一篇顶刊论文背后的“芯”故事

2026年初，工业电子领域期刊《IEEE Transactions on Industrial Electronics》（中科院一区TOP）发表了一篇关于MEMS流量传感器的研究论文。通讯单位为山东大学，论文通讯作者是陶继方教授。

在这篇论文的致谢中，有一个名字值得关注——青岛芯笙微纳电子科技有限公司，为该研究提供了关键实验验证设备与场地支持。

为什么一家企业与一项基础研究会有如此深度的绑定？事情要从MEMS流量传感器的行业痛点说起。

MEMS热式流量传感器凭借微型化结构、低热容等优势，在生物医疗、环境监测等领域已有广泛应用。但在半导体制造场景中，电子特气种类繁多，行业普遍采用“单一气体标定+气体系数切换”的模式，而MEMS传感器在跨气体测量精度方面的研究相对匮乏，制约了其在半导体领域的规模化部署。

山东大学陶继方教授团队提出了一套新的气体系数测定方法，通过构建传感器的二维传热模型、辅以实验数据修正，形成了一种通用计算方式。验证显示，该方法在不同特气场景下的转换误差可控制在0.5~6.4%FS以内。

值得注意的是，青岛芯笙正是国内最早实现MEMS流量传感器“芯片设计-组件开发-仪表集成”全产业链自主可控的企业之一，并在国内将MEMS流量芯片技术应用于半导体制造。产学研的紧密配合，让实验室的前沿研究能够更快地走向产线验证，也缩短了从“技术突破”到“产品落地”的距离。

对于行业用户而言，这种“论文发在顶刊、产品用在产线”的双重背书，或许比任何宣传都更有说服力。

原创作者：青岛芯笙微纳电子科技有限公司