真空镀膜良品提升新思路，工艺气体管控优化产线效益

光学镜片镀膜、五金刀具硬质镀层、显示屏导电膜层生产，全部依托真空镀膜工艺实现，PVD、CVD、磁控溅射等生产工序中，氩气、氧气、氮气等工艺气体的输送稳定性，左右镀层均匀度与成品良率。很多镀膜加工厂反馈，气体流量忽高忽低，容易出现镀膜厚薄不均、镀层起皮氧化，大批量工件返工，原材料与工时损耗居高不下。

真空腔体处于低压密闭环境，普通流量仪表难以适配负压工况，环境温度波动也会干扰设备运行参数。青岛芯笙微纳针对真空环境优化产品结构，流量计与流量控制器可以在负压密闭腔体环境正常作业，能够跟随镀膜起弧、沉积、钝化不同工序，动态调整供气速率，及时抵消工况波动带来的气流变化。

产品分小型桌面镀膜机配套款、大型卷对卷量产产线配套款，小到镜头镜片实验室打样设备，大到光伏基板连续镀膜生产线，都能灵活匹配安装。设备耐受镀膜车间等离子环境，长期不间断开机下，零点变化幅度小，减少产线中途停机校准频次，帮助工厂压缩运维成本。

现阶段产品已应用光学镀膜、塑胶镀膜、半导体元器件镀膜多条产业链，不少加工厂通过优化气体管控，不良品占比稳步下降。随着消费电子、光伏组件行业持续扩产，真空镀膜工艺持续迭代，芯笙微纳持续深耕镀膜用气管控，持续迭代适配新工艺的流量测控方案。

原创作者：青岛芯笙微纳电子科技有限公司