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真空纳米磁控镀膜仪器 直流大功率溅射仪

点击次数:96 发布时间:2023/3/7 17:34:50
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小型溅射仪

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

主要特点/优势:

★ 玻璃钟罩真空腔室,直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察;

★ 复合分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥140L/S);

★ 两组水冷式蒸发电,可长时间稳定工作,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;

★ 业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;

★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;

★ 衬底可选择加热或水冷,源基距≥40-105mm;

★ 可调速旋转靶台使薄膜更均匀

★ 可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

★ 7寸显示器定时定点调节电流,达到控制功率效果

小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作。

公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。

目公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

原创作者:郑州科创实验仪器设备有限公司

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